產品分類： 硅烷
名稱：硅烷 高純硅烷 化學式：SiH4
英文名稱：silane
包裝規(guī)格:44L
充裝量：10公斤
99.9999%高純硅烷詳細參數(shù)表
|
序號 |
名稱 |
化學式 |
純度(%) |
壓力(Mpa) |
充裝量(m3/kg) |
閥門|螺紋出口 |
鋼瓶容積(L) |
鋼瓶尺寸(cm) |
鋼瓶皮重(kg) |
|
1 |
硅烷 |
SiH4 |
99.9999 |
- |
10kg |
CGA350/Diss632 |
44 |
23×140 |
70 |
硅烷氣體的質量標準 僅供參考：
硅烷 （SiH4)
|
項目名稱 |
雜質含量（ppm) |
|
硅烷 純度指標（%） ≥99.9999 |
|
|
氬氣（Ar） |
≤0.05 |
|
氯硅烷（Chlorosilane)） |
≤0.15 |
|
乙硅烷（Si2H6)) |
≤0.5 |
|
氦氣（He） |
≤1 |
|
一氧化碳（CO） |
≤0.05 |
|
氧氣（O2） |
≤0.05 |
|
氮氣（N2） |
≤1 |
|
氫氣（H2） |
≤20 |
|
二氧化碳（CO2） |
≤0.05 |
|
甲烷（CH4） |
≤0.05 |
|
碳（C） |
≤0.2 |
|
二氯二氫硅（SiH2Cl2) |
≤0.5 |
|
甲基硅烷（CH3Si) |
≤0.5 |
|
金屬離子（Metals) |
≤0.03 |
硅烷的發(fā)展史
硅烷是1857年發(fā)現(xiàn)的，在之后100年左右的時間里，在工業(yè)生產中幾乎沒有任何用途。直到20世紀50年代，由于半導體技術的發(fā)展，它才開始在電子工業(yè)生產中得到應用。20世紀80年代半導體工業(yè)迅速發(fā)展，硅烷用量才迅速上升。1984年國際硅烷市場的銷量為70t，1986年增加到110t，每年以12%～15%的速度遞增。1990年全世界硅烷銷量為240t。我國對硅烷的應用起步較晚，目前每年消耗量約數(shù)十噸。
隨著一系列新技術、新產品的開發(fā)應用，除微電子工業(yè)外，硅烷已經成為信息、新材料、能源和環(huán)境科學的基礎原料，是許多未來產業(yè)所必不可少的。它在現(xiàn)代科學和現(xiàn)代工業(yè)中的地位顯得十分重要。
什么是硅烷氣體
硅烷是一種無色、與空氣反應并會引起窒息的氣體。該氣體通常與空氣接觸會引起燃燒并放出很濃的白色的無定型二氧化硅煙霧。它對健康的首要危害是它自燃的火焰會引起嚴重的熱灼傷，如果嚴重甚至會致命。如果火焰或高溫作用在硅烷鋼瓶的某一部分會使鋼瓶在安全閥啟動之前爆炸。如果泄放硅烷時壓力過高或速度過快會引起滯后性的爆炸。泄漏的硅烷如沒有自燃會非常危險，不要靠近。處理緊急情況的人員必須要有個人防護設備和適應當時情況的防火保護。不要試圖在切斷氣源之前滅火。
硅烷氣體無色，劇毒，易燃燒氣體，帶有令人生厭的大蒜味。
硅烷氣體的用途
硅烷氣體用途：硅的外延生長、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料，太陽能電池，光導纖維，有色玻璃制造，化學氣相淀積。紐瑞德特種氣體供應高純硅烷氣體，硅烷價格全網最實在！硅烷氣體用于集成電路制造、太陽能電池、涂膜反射玻璃等。電聯(lián)（400-6277-838）
硅烷氣體的理化性質
硅烷氣體理化性質: 硅烷在常溫常壓下為具有惡臭的無色氣體。在溫室下著火，在空氣或鹵素氣體中發(fā)生爆炸性燃燒。即使用其他氣體稀釋，如果濃度不夠低，仍能自燃。硅烷在氬氣中含2%，氮氣中含2.5%，氫氣中含1%，它仍能著火。硅烷濃度在小于1%時不燃，大于3%時自燃，1%～3%時可能燃燒。
硅烷氣體使用當中的注意事項
硅烷氣體注意事項：使用硅烷的工作場所要通風，保持室內空氣干燥。硅烷裝置要嚴格密封，避免和空氣、水分相接觸，為此，用氣裝置在使用前要用惰性氣體置換里面的空氣后抽真空，這樣反復進行置換和抽真空，一定要徹底清除系統(tǒng)中的空氣和水分。裝置使用以后，也要用惰性氣體置換清洗系統(tǒng)中的硅烷?？梢杂煤ぬ铰┢魈铰Ｉ倭抗柰樾孤r，從氧化硅粉末的折出中也可以得知。鋼瓶要存放在陰涼干燥通風良好之處，要遠離熱源和氯、溴等氧化劑。工作場所要配備足夠的防護用品及應急用品。硅烷無腐蝕性，可以使用碳鋼、不銹鋼、銅、黃銅、蒙乃爾、耐蝕鎳基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍、三氟氯乙烯樹脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用鉛、橡膠、脂肪、潤滑油、玻璃。凡是可燃性的有機高分子材料應該避免使用。當硅烷大量泄漏時。緊接著就要著火，所以無法用滅火器滅火。但是可以控制火勢，使火災不向周圍蔓延。燃燒時輻射熱不太高，所以應盡可能去關閉閥門以止住氣體的流出?？捎冒籽┦刍蚴巯ɑ?。廢氣可用水或堿吸收，或者在特殊燃燒器中燃燒成SiO2之后用專門的過濾器捕捉。儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易（可）燃物、氧化劑分開存放，切忌混儲。儲區(qū)應備有泄漏應急處理設備。密閉操作，局部排風。操作人員必須經過專培訓，嚴格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具（半面罩）。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。
