名稱/化學(xué)式：三氟化氮/NF3
包裝規(guī)格：44L、17L
純度(%)及雜質(zhì)(ppm)：99.99%
產(chǎn)品詳情：
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氣體標(biāo)識(shí) |
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名稱：nitrogen trifluoride 分子式：NF3 |
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氣體物化特性 |
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包裝 ( Cylinder（47L）、Bundle(16×47L)、Bundle(25×47L)、 Y-Cylinder(470L)、 ISO等) |
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儲(chǔ)存及運(yùn)輸 |
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三氟化氮?dú)馄繎?yīng)儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)倉庫內(nèi)。三氟化氮?dú)馄繎?yīng)遠(yuǎn)離火種、熱源、防止陽光直射，與還原劑、易燃或可燃物等分開存放。 |
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三氟化氮?dú)馄吭诎徇\(yùn)時(shí)要輕裝、輕卸，防止鋼瓶及附件破損。 |
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三氟化氮?dú)馄康倪\(yùn)輸按危險(xiǎn)品運(yùn)輸。運(yùn)輸時(shí)用氣瓶固定架將三氟化氮?dú)馄抗潭ê?，用汽車公路運(yùn)輸或用輪船集裝箱運(yùn)輸。 |
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泄漏應(yīng)急處理 |
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如遇有三氟化氮?dú)怏w泄露，工作人員要馬上撤離泄漏污染區(qū)，并盡可能采取措施阻止三氟化氮?dú)怏w的進(jìn)一步泄露。如有工作人員中毒，應(yīng)立即送往醫(yī)院救治。 |
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泄露現(xiàn)場(chǎng)要盡快處理，處理泄露現(xiàn)場(chǎng)的工作人員必須配戴必要的防毒面具，最好是自給正壓式呼吸器。泄露現(xiàn)場(chǎng)經(jīng)檢測(cè)無危害氣體后方可進(jìn)入工作人員，泄露容器必須經(jīng)仔細(xì)檢查、維修或妥善處理好后方可繼續(xù)使用。 |
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三氟化氮?dú)怏w產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)（QJ58-2007） |
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三氟化氮在常溫下是一種無色、無臭、性質(zhì)穩(wěn)定的氣體，是一種強(qiáng)氧化劑。三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，在離子蝕刻時(shí)裂解為活性氟離子，這些氟離子對(duì)硅和鎢化合物，高純?nèi)哂袃?yōu)異的蝕刻速率和選擇性（對(duì)氧化硅和硅），它在蝕刻時(shí)，在蝕刻物表面不留任何殘留物，是非常良好的清洗劑，同時(shí)在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運(yùn)用。
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